上海睿丹自動(dòng)化儀表有限公司MFC維修校準(zhǔn)服務(wù)可以修復(fù)半導(dǎo)體行業(yè)的主要品牌MFC，包括MKS、Brooks、Unit,Mykrolis、Pall、Fujinkin等 對(duì)于Cl2和Br2 MFC，我們建議客戶更換新的，我們也可以提供1對(duì)1的交換服務(wù)。 品牌 型號(hào) Brooks(Unit) GFC...
ALICAT 手持式大氣采樣流量校準(zhǔn)儀66系列，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置大氣壓傳感器和外置溫度探頭對(duì)當(dāng)前大氣壓和環(huán)境溫度進(jìn)行精確瞬間測(cè)量，專門針對(duì)環(huán)保法規(guī)要求設(shè)計(jì)。ALICAT 66系列手持式大氣采樣流量校準(zhǔn)儀，可現(xiàn)場(chǎng)顯示當(dāng)前大氣壓、溫度、濕度、體積流量和質(zhì)量流量，主要用于大氣顆粒物校準(zhǔn)儀采集器流量的定期校準(zhǔn)，方便快捷。
ALICAT 便攜式高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)62Q系列，這款多功能62Q系列便攜式高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)可縮短檢定或驗(yàn)證高壓（160-320 psia）條件下運(yùn)行流量所需時(shí)間，還能夠瞬間提供多種氣體的實(shí)時(shí)讀數(shù)，從而縮短停機(jī)時(shí)間和過程中斷時(shí)間。
ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-便攜式-低壓損型62W/62AW系列采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。 可用于快速精確地測(cè)量過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，用于現(xiàn)場(chǎng)多種流量校準(zhǔn)和檢測(cè)場(chǎng)合，超低壓損更加適用于要求苛刻的環(huán)保檢測(cè)行業(yè)。
ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-便攜式62/62A系列，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。 可用于快速精確地測(cè)量過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，更方便用于現(xiàn)場(chǎng)多種流量校準(zhǔn)和檢測(cè)場(chǎng)合。
ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器01系列，采用了熱帖片式原理，而且克服了熱式對(duì)于預(yù)熱時(shí)間的要求，01系列的預(yù)熱時(shí)間僅需要70ms，且保證了流量控制的穩(wěn)定性和精確度。01系列測(cè)量和控制范圍高達(dá)0.5 ~ 100%，可以滿足更多的客戶流量控制應(yīng)用場(chǎng)合。 材質(zhì)上，01系列采用了316不銹鋼主體，F(xiàn)KM密封，并具備較強(qiáng)的抗振動(dòng)性能。
ALICAT 截止閥質(zhì)量流量計(jì)控制器21VS系列，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的21VS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測(cè)量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度。
ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器21V系列，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的21V系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器是專為需要緊密關(guān)閉應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，如真空鍍膜和濺射過程等。
ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量控制器21Q系列氣體質(zhì)量流量控制器，同我們的標(biāo)準(zhǔn)控制器一樣，能對(duì)需要較高管線壓力（160-320 PSI絕壓）的應(yīng)用環(huán)境進(jìn)行快速控制響應(yīng)。這款高壓應(yīng)用質(zhì)量流量控制器可快速達(dá)到新的設(shè)定值，并保持該設(shè)定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能，確保相關(guān)產(chǎn)品能夠快速實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定控制。
ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-耐腐蝕型21S系列，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。 可用于快速精確地測(cè)量并控制腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合。
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