技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求    潔凈、干燥、無腐蝕性氣體

介質(zhì)種類    每臺設(shè)備只能選擇A，B，C其中一種

                  A：空氣（AIR）、氬氣(Ar)、二氧化碳(CO2)、氮氣(N2)、          

                   氧氣(O2)、一氧化二氮(N2O)，可通過數(shù)字方式切換

                   B：氦氣(He)；

                   C：氫氣(H2)，其他氣體需咨詢     

量        程    0-100 SCCM ，0-1000 SCCM， 0-20 SLPM，0- 50 SLPM                       

                  （注：選擇CO2和N2O后量程降低為原來的75%）

測量和控制范圍    1 ~ 100%滿量程 （0-100 SCCM）

                             0.5 ~ 100%滿量程

                            （0-1000 SCCM、0-20 SLPM、0-50 SLPM）

精       度    ±（1.5 % 讀數(shù) + 0.5 % 滿量程）

重  復(fù)  性    ± 0.5 % 讀數(shù)

質(zhì)量流量溫度漂移    ± 0.2 % 滿量程 / ℃

時間漂移    0.05%滿量程/年

累計流量精度：標(biāo)準(zhǔn)精度額外增加±2%讀數(shù)

響應(yīng)時間    優(yōu)于100 ms                   

預(yù)熱時間    70 ms

默認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)狀況（STP）    25℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可定制）

工作溫度    0 ～ 50℃                     工作濕度    <  90 %，無冷凝

最大工作壓力    0-100 SCCM、0-1000 SCCM、0-50SLPM為145PSIG                     

                          0-20 SLPM為60 PSIG

耐       壓    175 PSIG

數(shù)字輸入/輸出信號    RS485或RS232，Modbus RTU協(xié)議

模擬輸入/輸出信號    0 - 5 VDC或4 - 20 mA

模擬信號刷新頻率    400 Hz

供電電壓    10-30 VDC                    

供電電流    200 mA

泄  漏  率    閥門泄露：10-5 Atm cc/sec He ，外漏：10-9 Atm cc/sec He       

材        質(zhì)    主體材質(zhì)： 316不銹鋼

                  閥體材質(zhì)：黃銅，302，303，430FR不銹鋼

                  密封材質(zhì)：FKM（Viton）；傳 感 器：氮化硅

過程連接    NPT或SAE內(nèi)螺紋

振       動    20g；MIL-STD-883E，Method 2002.4

安裝方式    對位置無要求                 

閥門類型：常閉 

防護等級    IP40

認(rèn)       證    CE、RoHS、REACH