中國臺灣Reliya半導體特殊材料氣體在線顆粒數(shù)儀同時進行四通道顆粒量測，量測范圍為 0.1μm 以上，0.2μm 以上， 0.3μm 以上，0.5μm以上流量： 2.83 L/min (0.1 CFM)直接量測大宗氣體及一般惰性氣體檢測氣體時，機臺內(nèi)部氣體殘留之問題支持 N2 , CO? , Ar , He , CDA ,等氣體以連續(xù)在線檢測管道氣微顆粒，穩(wěn)定性，可靠性好日常維護方便，檢測氣體時，機臺內(nèi)部氣體殘留之問題，防爆設計支持 H2 , O2 , 等氣體，自動粒子計數(shù)器控制，數(shù)據(jù)采集，實時 圖形顯示，可以記錄和打印輸出測試結 果輸出 顯示屏幕： 7 寸彩色觸摸屏 數(shù)據(jù)輸出: USB, RS232 機殼 主體 ： 240 mm (H) X 380 mm (W) X 480 mm (D)  22 Kg 顯示器： 180 mm (H) X 240 mm (W) X 315 mm (D)  8 Kg 功率：100 ~ 240 VAC, 50/60 Hz, 2.0 Amp